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几秒内!显微镜投影光刻实现高分辨率制造
行业新闻
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2021-02

集成的光信号想要实现多种功能,都离不开基本光学元件的小型化,例如波导、分路器、光栅和光开关。这也意味着需要一种能实现高分辨率制造的方法。

目前已存在几种用于亚波长高分辨率制造的技术,例如直接激光写入、多光子光刻、电子束光刻、离子束光刻和多米诺骨牌光刻,然而,这些技术均成本高昂、复杂且耗时。纳米压印光刻虽然非常适合高分辨率与高效制,但是它同时也需要高质量的“母机”。

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